HBO-IC Microlithography lamps for ASML i-line systems

Instrucciones de seguridad
Debido a su elevada luminancia, la radiación UV y la elevada presión interna (al calentarse), las lámparas HBO solo pueden funcionar en carcasas cerradas fabricadas especialmente para ese fin. El mercurio se libera si se rompe la lámpara. Se requieren precauciones de seguridad especiales. Se dispone de información adicional a petición, o bien en el folleto que se adjunta con la lámpara, o en las instrucciones de funcionamiento.

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Product
Tipo de corriente
Enfriamiento
Hoja de datos del producto
HBO 1003 W/PIL
corriente continua (CC) Refrigeración forzada
HBO 1500 W/PIL
corriente continua (CC) Refrigeración forzada
HBO 2100 W/PIL
DC
HBO 2500 W/PIL
corriente continua (CC) Refrigeración forzada
HBO 3500 W/PIL
corriente continua (CC) Refrigeración forzada
HBO 3502 W/PIL
corriente continua (CC) Refrigeración forzada

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